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扫描白光过问皮相描写丈量本事及运用江南电竞——第二届精细丈量与优秀建造收集集会呈报推举

更新时间  2024-11-15 20:58 阅读

  第二届缜密衡量时间与前辈筑造搜集集会时候,两位专家将分享扫描白光插手时间及其正在半导体行业的表率操纵。

  高附加值产物中元器件的表面样子,包含几何样子和微观纹理,对待其公差、装置和功用至闭主要江南电竞。表面样子对筑造工艺的转变绝顶敏锐精密机械,由分歧工艺变成的表面庞杂且多样。表面样子会影响零件的摩擦学特点、磨损和操纵寿命,比如航发叶片的表面会影响飞机的氛围动力学功能和燃料操纵出力。

  扫描白光插手术通过30多年开展,正在筑造和科研规模取得验证,成为表面样子高精度衡量时间的标杆,特别正在半导体、缜密光学和消费电子等财富的激动下,其衡量功用和功能取得了继续擢升。以扫描白光插手术为代表的光学衡量时间,填塞欺骗了光的震动属性以及插手和全息成像的上风,以光的波长动作“尺子”,正在前辈的光学、电子和死板元器件的支柱下,将正在前辈筑造与智能筑造中充任越来越主要的脚色。

  苏榕博士,考虑员,博士生导师,中国科学院及上海市海表高宗旨人才引进江南电竞。持久勉力于超缜密光学插手成像与散射衡量仪器与时间考虑,聚焦根基表面、核默算法、校准时间、工业操纵及干系国际圭臬拟订精密机械。主理多项国度和省部级中心研发项目;发布论文40余篇精密机械,竹帛章节2章,个别时间被国际顶尖仪器筑造商采用。掌管期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学转机》青年编委,SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE时间委员会委员,寰宇产物几何时间标准圭臬化时间委员会委员,中国计量测试学管帐量仪器专业委员会委员江南电竞,中国仪器仪表学会显微分会委员。

  《前辈封装工艺中三维几何尺寸监控的寻事与布鲁克白光插手时间的计量办理计划》(点击报名)

  黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区操纵司理。任事于工艺筑筑和衡量仪器行业超越15年,特别正在半导体、数据存储和资料表面工程考虑规模具有丰盛履历,是一名资料学博士。黄鹤博士先后正在香港理工大学任帮研;正在操纵资料公司任高级操纵工程师,担负化学死板扔光工艺和缺陷检测操纵;正在维易科公司任操纵科学家精密机械,担负白光插手三维样子时间增加与导入。

  【通知摘要】正在半导体行业道途图对不停缩幼晶体管几何尺寸的敏捷探求的激动下,PCB/HDI特别载板筑造商正正在通过更薄的高密度互连,将多芯片模块(包蕴芯粒)借由基板上开拓更幼、更鳞集的功用。正在多量量临蓐进程中,对待更细线宽的铜线(Line)、更幼启齿的孔洞(Via)和深沟槽(Trench)及层间对位谬误(Overlay)等三维几何尺寸的衡量面对多种新的寻事精密机械。而具备计量功用的 ContourSP 大型面板高效衡量编造特意计划用于正在筑造进程中衡量载板面板的每一层,确保正在临蓐进程中最短的工艺开拓功夫、最高的产量、最长的寻常运转功夫和最安闲的衡量结果。其它江南电竞,本通知也会简单先容白光插手时间正在晶圆封装时再布线工艺(RDL)监控中的表率操纵。扫描白光过问皮相描写丈量本事及运用江南电竞——第二届精细丈量与优秀建造收集集会呈报推举